2025年7月19日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇特麗亮新材料科技有限公司申請一項名為“一種聚氨酯拋光墊及其制備方法”的專利，公開號CN120326519A，申請日期為2025年06月。
專利摘要顯示，本發(fā)明為半導(dǎo)體的化學(xué)機械拋光技術(shù)領(lǐng)域，提供一種聚氨酯拋光墊及其制備方法。所述聚氨酯拋光墊至少包括拋光層和緩沖層，所述拋光層包括以下重量份的原料：聚氨酯預(yù)聚物60~100份、填料1~10份、固化劑10~30份，其中填料為介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯填料。以介孔二氧化硅接枝的氧化石墨烯為填料，將介孔二氧化硅接枝到氧化石墨烯表面，大大提高了氧化石墨烯在聚氨酯預(yù)聚物體系中的分散性，以更好的發(fā)揮氧化石墨烯的作用。這種填料不僅可以利用氧化石墨烯的熱傳導(dǎo)性能，而且加入的介孔二氧化硅具有中空的結(jié)構(gòu)，也有利于提高拋光墊的熱傳導(dǎo)性能。
